In dieser Arbeit werden verschiedene Mikrowellenplasmaunterstützte Prozesse untersucht. Es werden...
Das vorliegende Studienskript 'Silizium-Halbleitertechnologie' ist aus der Vorlesung 'Halbleitert...
Die Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie....
Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie...
Ein Lehrbuch zu den grundlegenden Verfahren der Mikroelektronik und Integrationstechniken. Grundl...
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur...
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikr...
Die Entwicklung der Halbleitertechnologie gehOrt zweifellos zu den bedeutenden industriellen Erru...
Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikr...