Molekularkinetische Deutung der Wirkungsweise von Diffusionspumpen

Auferund von Gültigkeitskriterien wird eezeigt, daß auch auf das Problem der Diffusionspumpe gasdynamische Methoden näherungs weise angewandt werden können. Mit den Ergebnissen der gas dynamischen Theorie kann das Verhalten der Diffusionspumpe bei verschiedenen AnsaugdrUcken und teilweise verschlossenen Düsen verstanden werden. Unter Zugrundlegung der gasdynamischen Rechnung wird das Pro blem der tilrUckströmung und des Saugverl'1ögens von Diffusions pumpen behandelt. Dabei wird befriedigende übereinstimmung zwischen Theorie und Experiment eefunden. 12. LITERATURVERZEICHNIS [1] S. Dushman: Scientific Foundations of Vacuum Technique, New York, 1962 l-l. Vlutz: Theorie und Praxis der Vakuum-Technik Braunschwiig, 1965 VI. Gaede: Ann. Phys. 41, 289, 1913 u~d 46, 357, 1915 sowie Z. Techn. Phys. 4, 337, 1923 [4] J. Langrn. uir Phys. Rev. 8, 48, 191r; Gen. EI. ~ev. 10, 1060, 1916; Electr'~an 79, 13 und 579, 1917 R. Jaeckel [ 5 J Zs. Haturforsch 2 A. 666, 1947 und: lleinste Drucke, ihre Messung und Erzeugung Berlin, Göttingen, Heidelberg 1950 [6J M. Matricon J. Phys. Rad 2, 86, 1931 und 3, 127, 1932 [7J Vgl. z. B. P. Frank und R. v. llises: Differentialgleichungen der Mechanik und Physik Band 11, S. 593, New York und Braunschweig, 1961 73 Vgl. z. B. D. Enskog: Phys. Z. 12, 5 und 33, 1911 [ 8 J oder R. D. Present: Kinetic Theory of Gases, New York, 1958 [9] H. G. Nöller Zs. für angew. Physik 7, 225, 1955 [10J H. G. Nöller Theory of Vacuum Diffusions Pumps in IIandbook of Vacuum Phsics, Vol. I, Part.

1. Aufbau, Wirkungsweise und Betriebsverhalten moderner Diffusionspumpen.- 2. Bestehende Erklärungen über die Wirkungsweise von Diffusionspumpen.- 3. Aufgabenstellung.- 4. Excurs über kinetische Gastheorie und Gasdynamik.- 4.1 Kinetische Gastheorie.- 4.2 Gasdynamik.- 5. Kriterien für die Anwendung der Gasdynamik auf Öldampfströmung.- 5.1 Gültigkeitskriterien für die Kontinuität.- 5.2 Gültigkeit der isentropen Strömung.- 5.3 Kondensationseffekte.- 6. Die Öldampfströmung in der Düse.- 7. Die Öldampfströmung außerhalb der Düse.- 8. Die Ölrückströmung aus dem Dampfstrahl.- 9. Das Saugvermögen.- 9.1 Geschwindigkeitsverteilung der Gasmoleküle im Dampfstrahl.- 9.2 Eine Modellvorstellung.- 9.3 Saugvermögen bei konstanter Moleküldichte an der Strahlgrenze.- 9.4 Lösungsansatz für eine genauere Saugvermögensbestimmung.- 10. Schlußbemerkung.- 11. Zusammenfassung.- 12. Literaturverzeichnis.- 13. Liste der benützten Formelzeichen.