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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique
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A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
eBook
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Artikel-Nr:
9783540268765
Veröffentl:
2005
Einband:
eBook
Seiten:
222
Autor:
Joachim Frühauf
eBook Typ:
PDF
eBook Format:
Reflowable eBook
Kopierschutz:
Digital Watermark [Social-DRM]
Sprache:
Englisch
Beschreibung:
Technological Basis of Bulk-Silicon-Microtechnique.- Orientation Dependent Etching of Silicon.- General Overview of the Shape- and Functional Elements and the Procedure of their Design.- Simple Shape Elements.- Elements for Mechanical Applications.- Elements for Fluidic Applications.- Elements for Optical Applications.