Microsensors, Mems, and Smart Devices

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Artikel-Nr:
9780471861096
Veröffentl:
2001
Erscheinungsdatum:
27.12.2001
Seiten:
522
Autor:
Julian W Gardner
Gewicht:
1111 g
Format:
248x173x34 mm
Sprache:
Englisch
Beschreibung:

Julian W. Gardner is the author of Microsensors, MEMS, and Smart Devices, published by Wiley.
"Smart Devices" sind gefragt: Ob es um "intelligente" Wandverkleidungen zur Lärmdemmung in Hubschraubern oder um "sprechende" Etiketten von Nahrungsmitteln geht, "mitdenkende" Geräte könnten uns das Leben in vielen Bereichen erleichtern. Die Autoren dieses Buches beschreiben einerseits die Herstellung intelligenter Sensoren und andererseits deren Verknüpfung mit speziellen Stellgliedern zu mikroelektromechanischen Systemen, von deren Möglichkeiten der Leser einen umfassenden Eindruck erhält.
Introduction
 
Electronic Materials and Processing
 
MEMS Materials and their Preparation
 
Standard Microelectronic Technologies
 
Silicon Micromachining:Bulk
 
Silicon Micromachining: Surface
 
Microstereolithography for MEMS
 
Microsensors
 
Introduction to SAW Devices
 
Surface Acoustic Waves in Solids
 
IDT Microsensor Parameter Measurement
 
IDT Microsensor Fabrication
 
IDT Microsensors
 
MEMS-IDT Microsensors
 
Smart Sensors and MEMS
 
Appendices
 
Index
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