Beschreibung:
Julian W. Gardner is the author of Microsensors, MEMS, and Smart Devices, published by Wiley.
"Smart Devices" sind gefragt: Ob es um "intelligente" Wandverkleidungen zur Lärmdemmung in Hubschraubern oder um "sprechende" Etiketten von Nahrungsmitteln geht, "mitdenkende" Geräte könnten uns das Leben in vielen Bereichen erleichtern. Die Autoren dieses Buches beschreiben einerseits die Herstellung intelligenter Sensoren und andererseits deren Verknüpfung mit speziellen Stellgliedern zu mikroelektromechanischen Systemen, von deren Möglichkeiten der Leser einen umfassenden Eindruck erhält.
Introduction
Electronic Materials and Processing
MEMS Materials and their Preparation
Standard Microelectronic Technologies
Silicon Micromachining:Bulk
Silicon Micromachining: Surface
Microstereolithography for MEMS
Microsensors
Introduction to SAW Devices
Surface Acoustic Waves in Solids
IDT Microsensor Parameter Measurement
IDT Microsensor Fabrication
IDT Microsensors
MEMS-IDT Microsensors
Smart Sensors and MEMS
Appendices
Index
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